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天芯微半導(dǎo)體首臺先進(jìn)制程硅基外延設(shè)備首發(fā)儀式在無錫高新區(qū)舉行
來源:高新院 achie.org 日期:2022-08-09 點(diǎn)擊:次
無錫市副市長周文棟,無錫高新區(qū)黨工委副書記、管委會副主任、新吳區(qū)委副書記、區(qū)長章金偉,區(qū)領(lǐng)導(dǎo)洪延煒、華艷紅,無錫先導(dǎo)智能裝備股份有限公司董事長、先導(dǎo)集團(tuán)董事長王燕清出席活動并共同啟動首發(fā)儀式。
章金偉在致辭中表示
集成電路是無錫高新區(qū)的優(yōu)勢產(chǎn)業(yè),產(chǎn)業(yè)規(guī)模突破了千億大關(guān)。先導(dǎo)集團(tuán)作為裝備制造和服務(wù)的龍頭企業(yè),正在加快布局集成電路高端設(shè)備、關(guān)鍵材料。先導(dǎo)集成電路裝備與材料產(chǎn)業(yè)園是無錫高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)“5+X”新格局的重要環(huán)節(jié),孵化出了天芯微等一批集成電路行業(yè)明星企業(yè)。天芯微自成立以來,立足自主研發(fā),全力攻克各項(xiàng)技術(shù)難題,產(chǎn)品達(dá)到國際先進(jìn)水平,部分核心性能已經(jīng)超過國際同類產(chǎn)品,取得了重大突破。
無錫高新區(qū)將堅(jiān)定不移實(shí)施創(chuàng)新驅(qū)動核心戰(zhàn)略,進(jìn)一步集成政策、優(yōu)化服務(wù)、豐富生態(tài),助推全區(qū)各類企業(yè)做大做強(qiáng),加速打造國內(nèi)一流、國際知名“6+2+X”現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系,一如既往秉承“尊商、親商、安商、富商”理念,為企業(yè)發(fā)展提供最有力的支持、最高效的服務(wù)、最全面的保障,攜手譜寫合作共贏新篇章。
王燕清表示
全球貿(mào)易市場、制造業(yè)領(lǐng)域風(fēng)云變幻,半導(dǎo)體核心裝備和材料的研發(fā)、制造尤為不易,在無錫市、無錫高新區(qū)的關(guān)心和支持下,先導(dǎo)集成電路裝備和材料產(chǎn)業(yè)園已先后投資孵化了天芯微、微導(dǎo)納米、先為科技、元夫半導(dǎo)體、吳越半導(dǎo)體等一大批優(yōu)質(zhì)企業(yè),其中微導(dǎo)納米于本月率先成功過會。目前,園區(qū)已經(jīng)引進(jìn)了20多個(gè)半導(dǎo)體高端技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)、150名以上核心科學(xué)家和博士隊(duì)伍以及數(shù)千名高級應(yīng)用人才,助力產(chǎn)業(yè)提升。
江蘇天芯微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司是先導(dǎo)集團(tuán)旗下的一家集成電路高端裝備制造商,公司核心團(tuán)隊(duì)來自全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體設(shè)備公司,擁有25年的先進(jìn)半導(dǎo)體裝備研發(fā)、制造經(jīng)驗(yàn)。公司以硅基外延技術(shù)為核心,致力于半導(dǎo)體前道關(guān)鍵工藝設(shè)備的研發(fā)與制造,為集成電路行業(yè)提供極具競爭力的高端設(shè)備和高品質(zhì)的服務(wù)。
為了解決客戶痛點(diǎn),滿足客戶需求,天芯微決定在無錫高新區(qū)實(shí)施半導(dǎo)體外延設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目,立志于突破國際半導(dǎo)體設(shè)備巨頭在該領(lǐng)域的技術(shù)壁壘,保障業(yè)內(nèi)先進(jìn)芯片生產(chǎn)制造。
天芯微此次發(fā)布的Epi300CompassAP硅基外延減壓設(shè)備是半導(dǎo)體前道工藝中的關(guān)鍵設(shè)備,廣泛應(yīng)用于功率器件、28nm及以下先進(jìn)制程的邏輯、存儲器件的生產(chǎn)制造。Epi300CompassAP的各項(xiàng)性能均達(dá)到了國際先進(jìn)水平,部分核心性能已經(jīng)超過國際同類產(chǎn)品,并得到了客戶的肯定。
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